江苏先导首台12寸高端晶圆级光学磁控溅射设备正式交付
日前，江苏先导自主研发的首台12英寸高端晶圆级光学磁控溅射设备顺利完成出厂检验，正式交付客户。此次交付不仅意味着国产高端光学镀膜装备在晶圆级领域实现里程碑式跨越，也为我国半导体先进封装、光电子器件制造提供了新的核心装备选择。
晶圆级光学磁控溅射设备是制造3D感测芯片、AR/VR光学模组、生物传感器等器件的关键工具，其工艺要求将光学薄膜均匀镀制在12英寸硅晶圆表面，膜厚控制往往需要达到亚纳米级。长期以来，这一市场几乎被欧美和日本企业垄断，国内企业采购成本高、交付周期长，且面临技术封锁风险。江苏先导此次交付的设备，在靶材布局、磁场优化、温场均匀性控制、晶圆传输自动化等核心环节均实现了自主突破。据测试数据，该设备沉积薄膜的非均匀性控制在±1%以内，颗粒缺陷密度大幅优于行业标准，已具备批量生产验证能力。
公司负责人介绍，该设备从立项到交付历时近两年，研发团队先后攻克了高功率旋转靶材密封、长程稳定放电、大面积膜厚均匀性补偿等多项行业难题。首台设备将用于国内一家领先的光学器件制造商，其产品主要应用于高端智能手机和车载激光雷达领域。客户在验收报告中认为，设备在关键工艺指标上达到国内领先、国际先进水平，且本地化响应优势显著。江苏先导还计划以此为基础，建立涵盖光学、半导体、显示面板等应用场景的产品矩阵。
在产业层面，此次交付更具深远意义。当前，晶圆级光学（WLO）技术正成为消费电子、智能网联汽车、工业视觉等新兴市场的重要支撑，而高端薄膜沉积设备长期受制于人。江苏先导的突破有助于完善国内集成电路与光电子产业链，增强供应链韧性。中国半导体行业协会相关专家表示，国产12英寸高端镀膜设备实现交付，是装备国产化进程中的标志性事件，将激励更多上下游企业加大协同创新。
面向未来，江苏先导将持续加大研发投入，在进一步提高设备产能与良率的同时，探索全自动化晶圆级光学镀膜产线解决方案。公司相关负责人表示，将持续吸纳高端人才，深化与高校及科研院所的产学研合作，力争在三年内实现该品类设备的批量出货，为“中国智造”贡献先导力量。